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作為設計和生產創新性半導體材料的全球領軍企業，法國 Soitec 半導體公司正式宣布選用 KLA 公司（納斯達克股票代碼：KLAC）的檢測技術，實現碳化硅 （SiC） 器件的高良率。KLA 公司是工藝控制和先進檢測系統領域的領軍企業。

Soitec 利用其獨特的專利技術 SmartSiC? 生產碳化硅優化襯底，助力提升電力電子設備的性能以及電動汽車的能效。

Soitec 采用 KLA 檢測設備為 SOI 晶圓取得了卓越的成果。基于此，Soitec 進一步拓展與 KLA 的合作，在其 SmartSiC? 晶圓上采用了 KLA 的 Surfscan? SP A2 無圖案晶圓檢測系統。

Soitec 的 SmartSiC? 晶圓具備了卓越且獨特的晶體質量，而 KLA 的 Surfscan? SP A2 檢測系統可利用 DUV 光學和先進算法，進一步提升對襯底的質量控制。這種合作伙伴關系將使 SiC 襯底生產達到新的甚至更高的水平，助推行業發展，加速高質量碳化硅在汽車市場的應用。

2022 年 3 月，Soitec 宣布在法國貝寧總部建設新的貝寧 4 號晶圓廠，主要用于生產 150mm 和 200mm 的 SmartSiC? 晶圓。貝寧 4 廠預計將于 2023 年下半年投入運營。

Soitec 首席技術官 Christophe Maleville 表示：“將我們獨特的 SmartSiC? 優化襯底與 KLA 的檢測和計量系統相結合，可以使 Soitec 的襯底質量優化至新的高度，提升客戶生產的良率。KLA 的檢測系統與我們最重要的 SOI 技術結合，發揮出巨大的潛力。現在，我們這一創新的結果拓展，與我們為汽車賦能的創新技術 SmartSiC? 結合。這將助力我們提升生產效率，滿足電動汽車市場不斷增長的需求，為客戶提供更多附加值。”

KLA 的 Surfscan、ADE 和 ECI 部門經理 Jijen Vazhaeparambil 表示：“KLA 高度重視與客戶的合作和對研發的投入。因為從中我們能夠獲得相關的專業知識及技術，從而準時高效地交付客戶所需的工藝控制解決方案。通過與 Soitec 的密切合作，我們世界一流的 Surfscan 檢測技術被成功地應用在了寬禁帶襯底領域。Surfscan? SP A2 系統可提供 Soitec 所需的靈敏度和產能，將幫助 Soitec 進一步提升其碳化硅和其他寬禁帶襯底的質量，滿足更嚴苛的要求。”

關于Soitec

法國 Soitec 半導體公司是設計和生產創新性半導體材料的全球領先企業，以其獨特的技術和半導體領域的專長服務于電子市場。Soitec 在全球擁有超過 3,500? 項專利，在不斷創新的基礎上滿足客戶對高性能、低能耗以及低成本的需求。Soitec 在歐洲、美國和亞洲設有制造工廠、研發中心和辦事處。Soitec 全力致力于可持續發展，于 2021 年將可持續發展納入企業宗旨：“我們提供科技創新的土壤，賦能電子設備的智能和節能，締造可持續的美好生活。”

關鍵詞： 檢測系統 電動汽車 半導體材料 主要用于 伙伴關系